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激光剝離機

激光剝離機

產品特點 1、線形光斑的激光整形技術，實現在不同尺寸加工樣品上的剝離操作?；
2、氣浮式的工作臺實現無接觸無摩擦的加工形式，避免產生粉塵顆粒，保證裝備內部的潔凈度；
3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設計，可有效提高生產效率?；
4、panel載臺吸附設計。激光設備的物料載臺的真空吸附部分，采用了分區域加時間延遲的設計，先吸附中間部分，再逐次往外圍吸附，保證帶柔性膜的panel可以無皺褶高效吸附。

產品應用

應用范圍：柔性顯示屏激光剝離。

產品參數

主要參數加工尺寸1"-8"
加工速度180mm/s
加工精度0.1μm
平臺參數1）移動精度
X 軸： 0.1μm
Y 軸： 0.1μm
Z 軸： 1μm
Theta 軸： 0.2°
2）定位精度
X 軸： ≤±4μm
Y 軸： ≤±4μm
Z 軸： ≤±5μm
Theta 軸： 0.1°
激光器參數1）激光器波長： 308nm
2）激光能量： ≥600W
3）激光脈沖功率： 1000mJ
4）總頻率： 600 Hz
5）脈沖寬度： 24±4ns
6）脈沖穩定性： ≤1%
工藝方式DPSS激光剝離
制程類型激光剝離
Tact time1":4.5s
8":6s
稼動率0.9


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